偏压电源

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• 作用
• 技术说明
• 作用

PAn>作用

　　1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力　　2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力　　3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色　　4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件

技术说明

　　偏压电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现，调压电路具有1%的稳率。高频变换电路产生10-90%脉冲电压。由于电源的输出电压与脉冲宽度独立调整，在满足工艺所需电压同时，通过改变脉冲宽度来控工件温升。电源适用于各类工具镀膜及装饰镀膜 。

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作用

　　1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力　　2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力　　3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色　　4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件